2022 Meet Greater South 亞灣創新Ｘ新創大南方

半導體製程進入2奈米節點，GAA製程面臨挑戰，如新材料、需精密解析度監控以確保良率等。本設備以X光為基礎，穿透多層環繞式閘極結構，以原子級解析度監控關鍵尺寸，減少90%量測時間，為台灣自主開發之線上量測2nm製程關鍵尺寸設備， 2025年市場預計1.3億美元，年成長率達36.8%。